第330章 全球最好的老板
    海湾科技,该公司虽然成立多年,不过早年一直名声不显,甚至到目前为止,该公司在外界里的名气也不大。
    只有半导体业内人士才比较熟悉,而外界的话,哪怕是很多科技爱好者也不太熟悉这家企业。
    不像是原时空的某家光刻机厂商,很多科技爱好者都知道它的名字……因为光刻机被卡脖子了,然后一堆人就开始找国产代替,最后翻出来这家企业。
    而当下智云微电子为核心的华夏半导体制造产业,目前并没有遭到太过严苛的光刻机封锁,各类duv浸润式光刻机都可以采购到,唯一买不到的euv光刻机,不仅仅智云微电子买不到,外头的台积电,英特尔,四星这几家也买不到。
    目前外界对euv光刻机的普遍认知是,这是个很先进的东西,但是目前还不成熟,asml暂时无法提供量产版。
    当下的主流依旧是duv浸润式光刻机,而这玩意海湾科技自己就有,外头也不封锁……所以也就没什么普通人会去关注光刻机行业。
    既然普通人,甚至科技爱好者都不太关注,这海湾科技的名声自然也就不大了。
    但是……普通人不知道,不了解,并不意味着这家企业不重要!
    作为一家好几年前就上了实体制裁清单的半导体设备制造企业,它的重要性和实力,那是经过了美财团认证的。
    如果说智云集团是电子产业,半导体产业的火车头,那么海湾科技就是制造火车头发动机的关键企业。
    其重要性已经不用再多说。
    而这样的一家重要企业,其规模自然也很大的,研发人员遍布全国多个主要城市,员工总数超过一万人,主要业务是前道光刻机,后道光刻机,蚀刻机,离子注入机等一系列半导体关键设备。
    以海湾科技为核心,仙女山控股体系下的两百多家企业一起,再加上众多国内的厂商,能够为提供全套的半导体制造设备以及耗材。
    目前的65纳米工艺节点上,设备国产率已经达到了百分百,此外耗材的国产率也达到了百分百。
    28-45纳米这个duv浸润式光刻机,采用单次曝光的工艺阶段上,设备国产率达到了百分之八十,并且主要核心设备都能自主可控,只有少部分非关键设备需要进口。
    耗材方面则是国产率达到了百分之八十五,光刻胶等核心耗材都能自主化……
    而22-10纳米工艺这个节点,也就是duv浸润式光刻机双重曝光的工艺阶段上,这个工艺节点比较困难一些,所以国产率也相对低一些。
    目前的设备国产率达到了百分之三四十五左右,耗材方面百分之六十左右。
    同时仙女山控股体系正在持续推进国产化,要么自己旗下的企业搞,要么联合国内的其他企业一起搞,。
    全面的国产自主化正在稳步推进当中。
    当然,这需要时间,不可能说一夜之间就能够全部做到国产化的。
    同时,即便是国产化的很多设备以及耗材其实做的比较勉强,属于勉强可用,但是用于商业化竞争的话就不太行的那种。
    然后……还存在着极其严重的专利问题,不管是光刻机还是其他什么蚀刻机的设备,还是光刻胶这些耗材,基本都存在着侵犯国外同类厂商专利的情况!
    这也导致了,仙女山控股体系下的很多半导体设备以及耗材,在国内倒是能够顺利申请专利并商用,但是在国外就申请不到专利,同时也无法出口商用了。
    没办法,仙女山控股体系目前的核心目的是实现半导体产业的自主可控,自然是能抄就抄,抄不了就用商业间谍等各种方式强行抄。
    总不能放着现有的道路不走,非要开辟全新,未知的技术路线啊。
    这又不是什么常规的商业产品。
    至于专利,国之重器,谁跟你玩什么专利啊。
    为了获得这些先进技术资料,银河安保在外头每年都得死不少人,还专利……
    专利没有,火箭筒倒是有不少。
    在半导体制造领域,徐申学的策略一直都是非常明确的:先解决有无问题,其他的什么专利啊,好不好用,商业化好不好搞都往后排。
    先把东西给弄出来,然后再考虑其他问题。
    而海湾科技就是这一策略下的产物,并且截止到目前来说,这一策略可以说相当成功。
    靠着不折手段再加上科研系统的辅助,还有国内数十年的工业基础积累,众多研究所,企业,高校的配合。
    然后还有徐申学疯狂砸下去的数以百亿美元计的投入。
    最终,呈现在徐申学面前的,就是这些光刻机了以及其他几种核心设备了。
    王道林这个时候,正在给徐申学介绍他们的光刻机产品:“徐董,目前我们公司的前道光刻机产品,已经覆盖了i-line光刻机,krf光刻机,duv干式光刻机,duv浸润式光刻机一共四大类型,工艺制程可以覆盖10纳米到500纳米。”
    “其中我们的i-line光刻机已经推进到第二代,相对比第一代大幅度提升了产能,提升了效率,降低了芯片的制造成本,该光刻机用于成熟的350-500纳米的芯片生产,具有成本低,效率高的特性,目前广泛供应国内各厂商以及部分海外厂商,这款光刻机和我们的krf光刻机,目前是没有专利障碍的,所以也面向国外客户供应,利用我们的低成本优势也获得了一定的海外市场,不过整体技术上还是对比国外的产品有差距,因此销量一般。”
    “krf光刻机,同样也进行了改进,推出了升级型号,提升了效率,这款光刻机用于成熟的130-250纳米工艺,该款光刻机我们的智云微电子里以及其他国内厂商大量采用,使用反馈很不错,乃是我们的诸多光刻机产品里,客户反馈最好的一款,成本低,容易维护,生产效率好,所以这一款光刻机我们的出货量还是比较大的,每年出货超过四十台!”
    “duv干式光刻机,我们的初代型号是hduv-100,后续我们又推出了改进型号hduv-200以及300,最新的hduv-300型号,今年刚实现量产并供货,进一步提升了套刻精度,为客户提供更加良好的65工艺节点的生产,整体效率也进一步提升,降低芯片生产成本。”
    “这系列光刻机,出货量也比较大,预计今年我们能够出货大概五十台以上,主要供给智云微电子,中芯等厂商以及其他几家国内厂商,主要用于55-90纳米工艺节点。”
    “duv浸润式光刻机,是目前我们的核心产品,技术先进,售价也相对高昂,该系列光刻机也是目前我们公司的主要营收来源!”
    前面几代的光刻机虽然也还有市场,不过这些老旧光刻机已经卖不出什么价了……毕竟落后芯片都卖不什么价格了,制造出这些落后芯片的落后光刻机,同样也卖不出什么价来。
    当然,虽然价格低一些,但是依旧还有市场,并且市场还不小。
    因为成熟光刻机,它除了可以直接生产成熟工艺的芯片外,也可以作为先进工艺芯片的辅助设备使用。
    小知识,芯片的生产过程里,往往需要经过很多次的光刻机曝光,而其中的大部分曝光工序对光刻机的要求不会太高,因此可以由成熟落后的光刻机进行操作,以节省制造成本。
    只有在核心曝光工序的时候,才会使用最先进的hduv-500型或类似asmlduv浸润式光刻机。
    后续如果采用了euv光刻机,也是类似的情况,大部分对精度要求不高的曝光工序其实都是duv光刻机进行的,只有最核心的工序部分才会由euv光刻机来完成。
    这也是为什么先进工厂,需要先进顶级光刻机的同时,也需要采购大量成熟光刻机的缘故……因为这些是搭配在一起使用的。
    如果所有的曝光工序都由顶级光刻机来完成,那将会是极大的浪费,成本会迅速暴涨。
    这是芯片生产过程里的成本控制问题!
    总之但凡有可能,晶圆厂都会想尽办法使用落后成熟的光刻机来进行绝大部分工序,以节省成本。
    这也是为什么看似落后的光刻机还能有不小市场的缘故。
    只是,市场虽然还有,但是价格不高就是了。
    真正价格昂贵的,还得是duv浸润式光刻机!
    海湾科技这边也不例外,卖的最贵的还是hduv-400/500这两款光刻机。
    尤其是后者可以玩两次曝光,套刻精度达到三点五纳米,其价格非常昂贵,如果加上各种配套服务,还有后续的技术支持等费用,一套下来得差不多四千万美元。
    至于很多中小晶圆厂期待光刻机国产化后,变成白菜价,千把万美元就能拿下的就别做梦了……hduv-500这种顶级工业产品,技术含量极高,加工难度极大,系统整合难度也大。
    一套四千万美元,这已经算是很便宜了。
    如果是隔壁的asml,同级别的光刻机则是要五千多万美元一套。
    而海湾科技的光刻机之所以价格便宜一些,也不是因为国产化后变良心。
    纯粹是自家的光刻机多少还有点差,生产效率不如隔壁的asml光刻机,因此为了打消客户的顾虑,把客户的芯片制造成本控制在一个可控范围内。
    海湾科技在光刻机售价以及后续维护费用上都打了一些折扣,这样晶圆厂综合算下来后,使用海湾科技的光刻机才不会成本更高。
    甚至还能拥有一些小优势,当然,这个优势并不明显了。
    海湾科技的光刻机,是要玩商业化的,是要卖出去的,所以价格不能太贵。
    但是海湾科技的生产制造成本,以及研发成本也非常高昂,因此也需要维持比较高的售价来维持营收以及利润。
    一套四千万美元的hduv-500光刻机,下半年已经开始小批量出货,供给智云微电子。
    然后加上同样不便宜的hduv-400光刻机。
    这两种duv浸润式光刻机,给海湾科技带来了不小的营收。
    而价格昂贵的设备,也不仅仅是前道光刻机,还有后道光刻机,以及蚀刻机等其他诸多的核心设备,而这些半导体设备里,甭管哪一种,那都是动不动都是几百万美元甚至几千万美元一套的昂贵设备。
    并且是工艺节点越先进,这价格就越贵,并且是翻倍甚至好几倍的价格差异。
    晶圆厂的高昂投资成本,有相当一部分都是用来采购这些极其昂贵的,超级精密的设备了。
    仙女山控股还会为有需求的晶圆厂,提供半导体设备设备打包服务,也就是客户一整座晶圆厂所需要的关键设备,我都给你打包提供,不仅仅是海湾科技的十多种核心设备,也包括仙女山控股体系下其他厂商以及国内部分厂商的配套设备。
    都给你直接列好名单甚至搭配好。
    客户只需要提供专业厂房以及支票,仙女山控股就能直接拉着一整套的设备过去,顺带帮你安装,调试,后面还提供驻厂的技术支持服务等。
    但这种打包服务也非常贵,哪怕是成熟工艺了,但动不动也是数亿美元起步的。
    如果是先进工艺,那更贵,基本几十亿美元以上!
    主要是设备太贵,服务费倒是没几个钱!
    而有技术的大型晶圆厂,则是不需要这种打包服务,他们会直接搭配生产线所需要的各种设备,然后自行采购并进行搭配,调试。
    智云微电子投资建设的沪城半导体基地第26号厂,主打的就是10-22工艺节点,乃是智云微电子针对未来14纳米工艺节点的广泛市场,庞大需求而进行的产能扩充计划。
    该厂预计采用hduv-500光刻机作为核心设备,主打的是双重曝光工艺,可以生产10-22纳米的芯片。
    该厂其大量的关键设备的供应就是由仙女山控股旗下各企业所供应,整体采购价达到了二十五亿美元,相当之夸张。
    就这,还只是一部分设备,还有不少设备是仙女山控股这边无法提供,需要从国内其他厂家或海外厂家进口的,这部分大概也需要十亿美元左右。
    全部设备投入,大概需要三十五亿美元左右,占据整个晶圆厂投入的百分之七十五,而整个晶圆厂的投资,大概需要五十亿美元左右。
    而这个价格,还是建立在全面采用国产化设备,同时工厂土地成本很少,厂房建设成本也是采用国内的建筑公司,厂房材料等也尽可能使用国产材料降低成本。
    如果还是按照之前那样,大部分设备都进口,考虑到近期设备涨价,通货膨胀等因素,那么这家工厂的投资成本至少得再增加十亿美元以上。
    这年头的晶圆厂投入,是越来越昂贵了……因为现金设备成本越来越贵。如先进光刻机这些东西,需求量小,产量低,意味着研发成本很难摊薄,同时制造成本也难以通过产量来拉低……最后搞的比战斗机这种军品溢价还要高。
    海湾科技的duv浸润式光刻机,预计一年产量才六十几台……比战斗机的产量都低!
    就这么点产量,它就便宜不到哪里去。
    其他的核心设备也大多存在类似的情况,产量低,成本无法摊薄,售价极其昂贵。
    沪城基地第二十六号厂里,预计采用的上千万美元的设备除了光刻机,还有一大堆呢。
    光刻机成本也只占据了晶圆厂成本的百分之二十五左右,还有百分之五十成本是其他设备构成的。
    至于非设备成本,也就是厂房以及其他乱七八糟的成本全部加起来,只有百分之二十五……这个百分之二十五的比例是比较低的,台积电搞一家同级别的晶圆厂,非设备成本这些得占据百分之三十左右。
    当然,一家晶圆厂里,成本最贵的还是光刻机,光这一种设备就占据百分之二十五的建厂成本。
    王道林对自家的duv浸润式光刻机也是相当自豪的:“我们的duv浸润式光刻机,目前已经为国内六家客户供货,智云微电子已经接收了三十台这种光刻机,并成功应用于产线上。”
    “我们的hduv-500型光刻机,在套刻精度上,三点五纳米已经满足10-22纳米节点的双重曝光工艺需求,同时我们的双工台技术也有比较大的进步,进一步推高了生产效率!”
    “而我们的hduv-600型号光刻机,目前也已经完成了样机制造,我们正在进行后期的各种测试环节,量产型号有望在明年第四季度出货,以供应智云微电子使用。”
    “这款hduv-600型光刻机,套刻精度达到两点五纳米,完全可以用来进行四重曝光,满足智云微电子提出的等效七纳米工艺的生产需求!”
    “目前我们在duv光刻机领域的技术研发,主要也是集中在这款光刻机上!”
    “除了眼前这些光刻机外,旁边的是我们的蚀刻机,离子注入机等核心设备,也都是我们研发人员联合国内众多厂家,科研所合作研发的成果,每一款设备,都是国内顶级工业技术的完美体现!”
    说实话,这些设备如何完美体现国内的顶级工业技术,徐申学不知道……
    徐申学对工业基础技术,其实了解的也不多,他前后两辈子都是文科出身,这辈子虽然从事高科技行业,日常也会接触一些高技术的东西,同时他自己现在还给自己挂着以个a级的科研名额涨脑子,有空,有需求的时候他也会了解,学习一些技术资料。
    但是这种了解和学习依旧是极为有限的。
    主要是海湾科技这边的东西过于先进,并且涉及到的领域方方面面,徐申学说真的,想要弄明白这些东西有点吃力。
    但是徐申学也不需要弄明白详细的技术原理这些,他只需要知道这些设备可以用来生产先进的芯片就行了。
    至于有什么技术很重要,需要重点关注之类的,王道林也会重点给他说一说!
    这一圈看下来,至少看了十多种设备,无一例外都是半导体制造业里的核心设备。
    其中的不少技术已经非常不错,比如后道光刻机技术就非常好,甚至都有些超前发展了……王道林说他们的hs350型后道光刻机,甚至都已经可以用来满足等效七纳米工艺的生产需求了,甚至都达到了国际领先水平,超过了竞争对手。
    不仅仅自己使用,还提供给大量国外客户使用,四星甚至都有采购……而且这种先进后道光刻机,海湾科技卖的很贵的,价格比国外同类型竞品还高。
    然后蚀刻机做的也比较好,基本上能够满足10-22纳米工艺的需求,其中的先进型号已经能够满足10工艺,也算是超前发展了,同样也供应国内外客户。
    其他的多种核心设备,基本也能满足十四纳米工艺或二十八纳米工艺的需求。
    ”我们的目标,是争取在后年,把这十多种核心设备的技术指标,全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”
    ”然后在这个基础上,继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进!”
    “对此,我们的信心还是很大的!”
    徐申学心中则是暗道:“二十个s级科研名额,百十多个a级科研名额都投在了仙女山控股体系下,如果你们还没信心,我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”
    仙女山控股体系下的各企业,一向来是徐申学的科研名额的投入大户,每个月新增加的成就点所购买的s级以及a级别的科研名额,基本都是给仙女山控股体系这边用了。
    智云集团那边除了智云微电子外,其他项目组,子公司都已经好久没有得到过a级以上的科研名额新增了,都是用原来的一些科研名额顶着,不过原来分配过去的高级别科研名额也不少,所以也够用了。
    看完了诸多这些现成的核心设备,徐申学又了解了一番euv光刻机的研发进度。
    王道林介绍道:“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业,对euv的多种关键技术进行集中攻关!”
    “主要是euv光源系统,高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统,还有超高精度的真空双工件台。”
    “除了光刻机本身的技术外,我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司,研发euv掩膜版,沉积工艺等等。”
    “而我们负责主导的euv光刻机研发上,目前光源系统的进度是比较快速的,我们之前获取了完整了euv所使用极紫外光光源的技术资料,而经过我们数年的反复尝试和试验,已经算是制造出来了极紫外光的光源!”
    “但是距离实用性还有一定的差距,我们的激光部分问题不大,但是在激光轰击锡滴的频率还是不够,无法达到技术资料上所需要的每秒五万次。”
    “我们已经针对这个技术难题牵头,进行了技术攻关,目前进展还算顺利,也许明年年中我们应该就能够把这个光源给搞出来!”
    “还有则是光源的反射镜,因为极紫外光的特殊性,很多材料无法反射这种光线,而是会被吸收,因此我们还需要一种全新材料所制造的反射镜来反射这种极紫外光!”
    “这部分工作主要由南方光学所承担,据我所知,他们已经尝试研发出来一种镜面材料,效果很不错,如今的难题是卡在了及镜面加工上,euv光刻机所需要的镜面精度,超过了duv光刻机镜面精度一个量级,他们正在和国内的几家科研所进行合作,准备搞这个镜面加工。”
    “双工台的话,这个难度倒是稍微低一些,我们如今的双工台技术还是很不错的,哪怕直接套用也勉强可行,只是会浪费euv的13.5纳米的光源所带来的精度而已。”
    “我们也正在开发精度更高,效率更高的双工台,为euv光刻机进行配套!”
    “整体下来,我们的euv光刻机目前所遇到的技术难题还是比较多,光源系统和双工台系统都还算好,我们还是有把握的,不过这反射镜就不太好搞了。”
    “毕竟按照南方光学的说法,他们搞的这反射镜系统,其精度几乎等同于从地球发射一道激光,然后准确命中月球上的一个足球,难度是相当大。”
    “因为这个反射镜系统比较难搞,我们的euv光刻机的具体进度如何,也就要看这个反射镜系统什么时候能够搞出来了。”
    说这话的时候,王道林也是挺无奈的!
    他们海湾科技说起来厉害,搞的是光刻机……但是他们其实就是个组装厂,几乎不生产任何的核心零部件。
    光刻机的核心零部件都是依靠仙女山控股体系下的其他兄弟公司或国内其他厂商所供应的。
    他们玩的是系统整合……当然,这部分技术难度也非常高,没点过硬的实力也是无法做到的。
    但系统整合的前提是零配件得技术性能达标啊。
    要是零配件不行,他们海湾科技也是巧妇难为无米之炊。
    海湾科技的很多技术人员,都一度喜欢自嘲自己是玩破烂的,用国内拉跨的零配件然后组装出来还算不错的光刻机或其他核心设备。
    但是……前期是得有破烂零配件啊!
    如果连破烂零配件都没有,那还玩个毛线!
    而现在在极紫外光反射镜领域里,就是属于连破烂都没有的程度,所以海湾科技这边也很难搞。
    徐申学听罢后,则是心中默默记着了,回头就给南方光学那边多调几个s级以及一批a级科研名额,进一步加强他们的核心研发人员的技术水平。
    徐申学是无法给所有的重要项目的核心技术人员,都给弄一个s级科研名额的,别说s级了,a级都很难得到满足。
    绝大部分科研人员,其实获得的还是最低级别的d级科研名额,这个级别的科研名额只要十点,便宜管饱。
    徐申学甚至都是让系统按照人头发的,只要是入职的技术人员人手一个。
    毕竟人手一个也没几个成就点。
    不像是s级的科研名额,一个就要十万点,饶是徐申学积累这么多年,手头上如今也就三十几个。
    至于更高级别的ss级的科研名额,这个要一百万,这个太贵了,徐申学倒是很想要,想要看看这种级别的科研名额,是不是能够让一个天才科学家,变成非人类科学家。
    但是如今徐申学的成就点一年累计下来,也才几十万而已,而且还要分配给旗下大量企业的核心项目使用,很多项目,比如半导体设备和耗材领域里的不少项目都非常紧迫的,拖不得。
    所以能存下来的不多,按照徐申学的计划,今年先攒个三十万成就点,然后明年自己缩衣节食,把成就点全部攒起来。
    然后凑个一百万成就点,兑换一个ss级别的科研名额。
    而这样的重量级科研名额,使用人选自然也不能是随便什么普通人,必须是真正的顶级天才科学家才行,普通科学家用它都是浪费!
    而且也不可能是固定给某一个人使用的,这种顶级科研名额,必须轮流使用,使用在关键项目的技术突破阶段里,这样才能够发挥出来最大的价值。
    为此,徐申学也已经开始让手底下的人事部门,开始在手底下的众多顶级科学家,部分潜力巨大的中层天才科学家们进行各种审查,考核,然后挑选出来各领域里的天才科学家。
    作为未来仅有的一个ss级别科研名额的轮流载体!
    不仅仅未来的ss级别科研名额是如此做的,其实就连现在的s级的科研名额,也是根据项目需求情况轮换使用,很少有人能够长期使用一个s级科研名额的。
    倒是a级的科研名额固定使用的比较多,至于b级的名额以及c级别和d级,那就更是如此,基本都是固定使用,徐申学甚至都懒得亲自关注。
    而是让系统根据旗下企业的技术人员的级别,然后直接批量发放或收回。
    徐申学旗下的所有公司,技术人员都会有一个专门的技术级别,这个级别等级除了作为工资定级的依据之一外,也是作为系统发放科研名额的依据。
    系统将会根据技术人员的技术级别,自动发放或回收科研名额。
    毕竟徐申学旗下的各企业的技术人员,加起来几十万人呢,他哪有这时间和精力挨个发放啊,都是直接委托给系统发放或回收的。
    徐申学亲自关注的,都是s级别以及a级别的科研名额的发放,这部分少一些,全部加起来也才四百多个,勉强管得过来。
    这四百多个高级别名额,除了他自己占用了一个a级名额外,其他的s级或a级名额,都是用在重要项目的核心技术人员身上,乃是推动徐申学旗下各企业的技术研发进步的核心力量。
    外界都以为徐申学手底下的企业研发进度这么快,是因为徐申学砸钱足够多,或者是智云集团等公司有非常良好,独特的研发氛围,又或者是良好的薪资待遇,荣誉激励等等。
    但是上述这些,虽然都是原因之一,但是更重要的还是科研系统的存在。
    尤其是高级别的科研名额,其对技术的推进作用是巨大的。
    只不过这一点外界不知道,徐申学也不可能对外透露。
    所以外界就只能认为徐申学手底下的企业研发快,是因为薪资丰厚,工作氛围好,荣誉感强,徐申学人格魅力强,管理模式优秀,对新技术极其敏锐等等。
    被誉为全球范围里最好的科技企业的老板:给钱多,尊重技术人员,还能带着技术人员获得技术突破,研发出来成果,并且自己也能获得技术上的提升。
    很多技术人员都很乐意在徐申学的企业里,为徐申学工作的。
    (本章完)

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